{"version":"1.0","type":"rich","provider_name":"EbookNetworking","provider_url":"https://www.ebooknetworking.net","title":"Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren (IPA-IAO - Forschung und Praxis) (German Edition)","author_name":"Walter Olbrich","thumbnail_url":"https://www.ebooknetworking.net/books/354/058/big3540585117.jpg","thumbnail_width":330,"thumbnail_height":500,"html":"<a href=\"https://www.ebooknetworking.net/books_detail-3540585117.html\">Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren (IPA-IAO - Forschung und Praxis) (German Edition)</a>","width":400,"height":300}