{"version":"1.0","type":"rich","provider_name":"EbookNetworking","provider_url":"https://www.ebooknetworking.net","title":"Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik (German Edition)","author_name":"Cornelia Klein","thumbnail_url":"https://www.ebooknetworking.net/books/383/812/big3838127870.jpg","thumbnail_width":330,"thumbnail_height":500,"html":"<a href=\"https://www.ebooknetworking.net/books_detail-3838127870.html\">Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik (German Edition)</a>","width":400,"height":300}