Vakuumbeschichtung: Band 3: Anlagenautomatisierung Meß- und Analysentechnik (VDI-Buch) (German Edition)
Description
Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
