Vakuumbeschichtung: Band 3: Anlagenautomatisierung Meß- und Analysentechnik (VDI-Buch) (German Edition)
Book Details
PublisherSpringer
ISBN / ASIN3540622691
ISBN-139783540622697
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MarketplaceUnited States 🇺🇸
Description
Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
